TS3555D-Ⅱ型晶圆激光调阻机

TS3555D-Ⅱ型晶圆激光调阻机，适用于半导体晶圆的精密调阻，可兼容不同规格尺寸（4寸、6寸、8寸等），具备按需设置目标阻值调阻、视觉识别定位、数据采集、良品率统计判定、不良品标记、晶圆片自动搬运上下片等功能。设备采用超高精度模组和高速扫描振镜，不仅提高了对位精度、生产效率，同时配合紫外激光器，实现光斑直径4um,自助研发的测量系统，阻值修调精度≤±0.3（1Ω-10MΩ），配备GBIP扩展接口，可外接测量设备进行其他功能扩展。